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气体质量流量计数字控制模块公司 北京晓韬科技
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发布时间: 2022-09-21 23:56
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,气体质量流量计数字控制模块报价, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。
MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,气体质量流量计数字控制模块公司, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。
用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体,气体质量流量计数字控制模块多少钱, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。
这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。
标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (27****K)。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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