配气仪的原理

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利用单片机控制高速三通电磁阀，通过对两路气体通断进行选择，从而达到调节每一路气体的采样量，获得设定浓度的气体，从而实现气体配比。

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参数

流量输出：0-10SLM以上

仪器精度：±1%F.S（可选高配，为±1%S.P）

重复精度：±0.2%F.S（10SLM以上重复精度误差增大）

线性：±0.5%F.S（10SLM以上重复精度误差增大）

工作环境温度：5℃-45℃

预热时间：20min

稀释比：100:1（可根据客户要求订制）

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右侧部分为气路原理

用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成，自动稀释仪多少钱，并可通过手动方式，自动稀释仪，控制内部截止阀（V1-V6的开关）

INLET1 - 设备所用背景气，一般为空气或氮气。

INLET2 – 原料气，用户可通过列表选择多种气体种类。

初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体，系统自动维持压力在0.5MPa以下，在使用二级配气条件下，自动稀释仪厂家，初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下，用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。

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