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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。
这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。
通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围,流量计控制模块厂家, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。
为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。
如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,流量计控制模块价格, 即压差。
MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。
用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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气体质量流量控制器如何选择密封材料

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

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