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通讯方式的热式气体质量流量控制器

在直径较细的感应管中放置两对加热器,并将其控制在同一温度。
当流体流动时,气体将上游的部分热量带给下游,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。
这时,热式质量流量计公司,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。
热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时,热式质量流量计价格,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。



气体质量流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:

体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。

质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),热式质量流量计多少钱,Q代表气体的体积流量(m/s)。

重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。



气体质量流量控制器的密封材料如何选择?

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,热式质量流量计, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。



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