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气体质量流量控制器的密封材料如何选择?

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意,进口质量流量计报价, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。



气体质量流量控制器对于气体的要求

1,气体必须洁净且没有颗粒物,进口质量流量计公司, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。
不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。



质量流量控制器能用比例阀代替吗?

不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,虽然可以起到一定的流量调节作用,进口质量流量计,但无法做到准确,进口质量流量计价格,稳定的流量控制,而气体质量流量控制器(MFC)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。



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