气体质量流量控制器对于气体的要求
1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。
不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。
使用气体质量流量控制器注意事项
1.怕粉尘,气体质量控制器多少钱, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器,气体质量控制器报价, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;
2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,气体质量控制器哪家好,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置, 假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回;
3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,气体质量控制器,然后再通腐蚀性气体,等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,保证管路中不会残存腐蚀性气体。
4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热,保证MFC在不通气时,瞬时流量处于0的位置,如果不通气时,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对MFC进行调零处理,否则将影响MFC的精度。
气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:
体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。
质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),Q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。
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