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什么是气体质量流量控制器


气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环
保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。
简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。



如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?

可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,气体质量流量计控制器厂家,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,气体质量流量计控制器公司,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。



使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置, 假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,气体质量流量计控制器,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,气体质量流量计控制器价格,然后再通腐蚀性气体,等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
 

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热,保证MFC在不通气时,瞬时流量处于0的位置,如果不通气时,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对MFC进行调零处理,否则将影响MFC的精度。



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