气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体，气体流量控制， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体，气体流量控制报价， 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

通讯方式的热式气体质量流量控制器

在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。
当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。
这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，气体流量控制厂家，与流过气体的质量流量成正比，气体流量控制多少钱，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

如何通过质量流量控制器判断没有气体通过？

质量流量控制器（MFC）是用来控制气体流量的，质量流量计（MFM）是用来测量气体流量，如果你需要检测气体流量需要用MFM。
 当然MFC还是有检测方法的，如果通过气体流量比较大，压比较大，可以为MFC设定一个大流量，MFC会反馈一个值，这个值就是气体的流量。
 如果流量比较小，压力比较小MFC就不能测出来了，因为MFC压损通常是比较大的，如果气体流量比较小，压力比较小就没办法测量了，就需要抵压损的MFM。

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